總覽

陶瓷頂部加熱器可廣泛用于真空，惰性氣體和其他各種工藝氣體中的薄膜研發(fā)應用，以及各種真空膜沉積設備應用。頂板由氮化鋁制成，氮化鋁在高溫下具有出色的導熱性，并且具有很高的電絕緣性（也可提供Inc600，石英，Mo，W，BN板等）。可以根據(jù)使用條件來選擇加熱器元件，例如金屬線例如NiCr，Inc，Mo，W，碳加熱器例如石墨和CCC，以及涂層加熱器例如PG / SiC / PBN涂層。它不僅用于研發(fā)，而且在半導體制造設備和各種真空設備（超高真空設備，例如PVD，CVD，MBE等）中的高溫熱板和基板加熱階段方面也取得了許多成就。

*陶瓷頂部加熱器是定制產(chǎn)品。要求估算時，請告知我們所需的規(guī)格和條件。

8“ NiCr元素800℃

3”石墨1300℃

6”西伯克大衣1400℃

2”石墨1200℃

使用

?真空薄膜形成（CVD，濺射，ALD，PLD，MBE等）
?薄膜應力/熱分析
wafer晶圓退火的加熱臺
?其他

使用的發(fā)熱體：根據(jù)使用環(huán)境，可以從以下10種電線中選擇

NiCr加熱器Max1000℃?Inconel
加熱器Max1000℃ 
?鎢加熱器Max1800℃ 
?鉬加熱器Max1800℃ 
?鹵素燈加熱器Max900℃ 
?石墨加熱器Max2,200℃（真空）
?C / C復合加熱器Max2,200℃（真空） ）
?各種涂層加熱器（PG，PBN，SiC涂層，玻璃碳）*醉高工作溫度因工作條件而異。

頂板材料

nitride氮化鋁
?鉻鎳鐵合金
?不銹鋼（SUS304，SUS316）
?石英
?鉬
?BN

醉高工作溫度（元件溫度）

主機連接方式

?ICF法蘭
?ISO（KF，LF）法蘭
?JIS（VG，VF）法蘭
?M6雙頭螺栓固定
?固定支架等（*每次開會）

熱電偶（可添加用于車身控制和過熱檢測）

?K型
?R，C型

參考數(shù)據(jù)[1英寸大1600℃陶瓷頂部加熱器]溫升測試（*頁面頂部右圖）

參考數(shù)據(jù)[6英寸大1200℃陶瓷頂部加熱器（CCC元件）]面內溫度分布測量