產(chǎn)品資料
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)
產(chǎn)品名稱: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)
產(chǎn)品型號: GMi系列
產(chǎn)品特點: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)該產(chǎn)品是一種換能器型多離子量規(guī)，可以將測針連接到不同的測量范圍。
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī) 的詳細(xì)介紹
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)
在將常規(guī)方法的多種原理組合到一個外殼中的復(fù)雜真空計中，“單個手寫筆需要*更換手寫筆”，“手寫筆很復(fù)雜且容易出現(xiàn)故障”和“手寫筆”我經(jīng)常聽到客戶的反饋，例如“昂貴”。
這種方法可以進行寬帶測量，顯著降低運行成本，并支持低環(huán)境負(fù)荷。
GMi系列的特點
- 廣域測量可以測量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5至5 x 10 -8 Pa）（當(dāng)同時使用GPM和GAM時） - 可以連接不同測量范圍的放大鏡
通過采用多離子規(guī)，可以根據(jù)應(yīng)用選擇測針 - 準(zhǔn)確的大氣壓測量可以
輕松，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時） - 支持低環(huán)境負(fù)荷由于
只能根據(jù)需要更換觸控筆，因此可以降低運行成本。
配備可檢查異常情況的LED，以提高可見度
易于更換可維護的手寫筆- 每種模式規(guī)格（組合模式）
GMi + GPM（離子計+吡喃計）
GMi + GPM + GAM（離子計+吡拉尼計+大氣壓傳感器） - 測量值輸出信號
壓力為0至10V輸出（對數(shù)輸出） - 控制輸出信號可以進行
3點設(shè)定值輸出（GMi-1） - 可以進行串行通訊規(guī)格
RS232C / RS485通訊（GMi-2） - 符合標(biāo)準(zhǔn)
CE標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)
用
- 用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
- 通過串聯(lián)型和單晶圓型等多個處理室，確認(rèn)各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力
- 高真空/超高真空設(shè)備的壓力測量
規(guī)范
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 規(guī)范 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通訊規(guī)格 | |
| 自適應(yīng)多離子量規(guī)傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） | ||
| 可連接的 | 傳感器多離子壓力表傳感器：1 皮拉尼壓力表GPM：1（可選） 大氣壓傳感器GAM：1（可選） | ||
| 采樣時間 | 70毫秒4倍移動平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0至10 V，對數(shù)輸出0.75 V / 1位 壓力轉(zhuǎn)換公式V = 7.25 + 0.75×（Log P -2）P = 10 ^ {（V --7.25）/ 0.75 + 2} *用于設(shè)定點調(diào)整還用作（僅限GMi-1）的輸出電源 | ||
| 更新時間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入??信號 | FIL ON / OFF，F(xiàn)IL 1/2，DEGAS ON / OFF以 集電極開路輸入，負(fù)邏輯運行 *根據(jù)模式的不同，F(xiàn)IL ON / OFF信號的用法也不同。 | --- | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設(shè)定點1/2/3 發(fā)射有效 燈絲功率監(jiān)控 額定值：24 VMAX，50 mAMAX， 飽和電壓1 V | --- | |
| 串行通訊規(guī)格 | --- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源，錯誤指示燈（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） FIL：發(fā)射有效的指示燈 | ||
| SET1：設(shè)定點1 LED SET2： 設(shè)定點2 LED SET3：設(shè)定點3 LED | --- | ||
| 發(fā)射電流 | 1 mA（1 x 10 -3 Pa或更小），10 µA | ||
| 德加斯 | 電子減震方法（電子轟擊）1 mA，330 V | ||
| 傳感器耐壓 | 2 x 10 5 Pa（壓力）*法蘭和夾具的承受壓力需要單獨考慮。 | ||
| 傳感器內(nèi)部容積 | 34厘米3（M34） | ||
| 工作溫度極限 | 10-50℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80％（但是，不結(jié)露） | ||
| 儲存溫度 | -20至65°C（不通電時不結(jié)露） | ||
| IP防護等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | DC 20-28 V（紋波，噪聲1％或更低）19 W或更低（電源打開時為156 W） | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15針（M2.6螺絲） | ||
| 大眾 | 控制器：約530 g，BA手寫筆（M34）：63 g | ||
| 外形尺寸W xD x H（mm） | 144 x 75 x 62以下（控制器部分） | ||
| 符合標(biāo)準(zhǔn) | CE認(rèn)證 | ||
| 選項 | 電源/錯誤：多離子計傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） 材質(zhì)：長絲1 lr / Y 2 O 3涂層，長絲2 W（鎢） 其他Pt C Mo，SUS，W | |
| 皮拉尼規(guī) | SPU | ||
| 皮拉尼儀表傳感器 | WP-16（NW16） 材質(zhì)：細(xì)絲鉑，其他BS / Ni，電鍍，鎳，焊料 | ||
| 大氣壓傳感器 | GAM（NW16）材質(zhì)：SUS316L | ||
| 單元電纜 | GPM為0.5毫米 GAM為0.5毫米 | ||
| 顯示單位 | 1 CH：ISG1型（使用DC 24 V電源） 4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V電源） IM2R1型（使用AC 100 V電源） | ||
| 顯示電纜 | GMi和顯示單元之間的電纜 2 m，5 m，10 m，15 m | ||
每種模式規(guī)格
GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：多離子表單模，帶吡拉尼表的組合模式以及帶吡拉尼表和大氣壓傳感器的三重組合模式。
| 模式 | GMi-1 / GMi-2 獨立模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM 組合模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 組合模式 |
|---|---|---|---|
| 測量壓力范圍 | 5×10 -8?1 ×10 1帕 | 5×10 -8?1 ×10 4帕 | 5×10 -8?1 ×10 5帕 |
| 測量精度 | 5×10 -8至1×10 1 Pa±15％ | 5×10 -8?1×10 3帕：±15％ 1×10 3?3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3?1.0×10 4帕：沒有精度保證 | 5×10 -8?1×10 3帕：±15％ 1×10 3?3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3 ?1.0×10 4帕：沒有精度保證 1.0×10 4?1.0× 10 5 Pa：±3％FS （3 x 10 3 Pa，參考溫度25°C） |
| 重復(fù)精度 | 1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％ | ||
| 接線圖（示例） |  |  |  |
外形尺寸
單位：mm
*規(guī)格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)
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