用于顯微觀(guān)察的照明裝置，用于檢測(cè)　最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等，是半導(dǎo)體加工過(guò)程中勞動(dòng)強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板1.可照明樣品表面范圍在400.000Lx以上。

　　2.　因使用鹵素光源燈的光源，具有色溫度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。
　　　　

　　3.　冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3
　　　　

　　4.　二段切換構(gòu)造，可用按扭切換高照明観察及低照明観察。
　　　　
YP-150I...照度范圍ph30
YP-250I...照度范圍ph60
　　　　（YP-250I的通風(fēng)機(jī)可選択螺旋式風(fēng)扇或管道通風(fēng)機(jī)形）