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半導體/液晶/電子元件相關應用的氧分析儀

半導體/液晶/電子元件相關應用的氧分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧氣計 MS-500

最多可同時測量 8 個點
可以顯示從 ppm 級到 100% 的各種濃度。
適合安裝在半導體制造設備、真空設備等上。
傳感器為直插式（NW 法蘭用于真空 16/25/40）
高度耐用的傳感器采用特殊涂層，以進一步提高耐用性。

MS-500 設備規格

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			分離式（轉換器：壁掛式，傳感器：直插式）
顯示方式			數字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
重復性			在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內或更多 ± 1% FS 或更少或 ± 0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm，atm 范圍超出保證濃度范圍
測量點數			1-8
樣氣條件	壓力		10 -3～ 200 KPa（絕壓）
	流量		0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然擴散狀態的測量）
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0-100℃
	其他		不得含有腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			大氣層
錄音機輸出			僅傳輸輸出
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出			沒有任何
熱身時間			6分鐘內
尺寸	MS-500（控制器）		92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分）
	MS-510（轉換器）		100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分）
	傳感器單元	SD16NW	全長100mm（感應部分Φ11×39，本體部分Φ40×51）
		SD25NW	全長100mm（感應部分Φ11×42，本體部分Φ40×48）
		SD40NW	全長100mm（感應部分Φ11×41，本體部分Φ40×49）
大量的	MS-500（控制器）		約0.6Kg
	MS-510（換能器）		約0.5kg
	傳感器單元	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部連接			真空法蘭之一（NW16、25、40）
使用的電源			24VDC ± 10%

氧氣計LC-450A、LC-450D

可以顯示從測量的ppm 級到 100% 的廣泛濃度范圍。
提高傳感器的耐用性
氧傳感器經過特殊處理以提高其耐用性。
交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
* LC-450D由24V DC驅動
緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統型號更短，并且不占用太多空間。
符合 RoHS 指令的產品
CE標志自我聲明產品
EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003

LC-450A 設備規格

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			數字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
重復性			± 1% FS 0-1ppm內，atm范圍超出保證濃度范圍
抽樣方法			內置泵連續吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30KPa以下
	流量		1,000-2,000 毫升/分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不得含有腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			大氣層
錄音機輸出	氧氣濃度輸出		在 4-20mA 和 0-20mA 之間切換（可選 0-10V）絕緣，負載電阻 550Ω 或更少記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧氣濃度
錄音機輸出	輸出范圍		0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出	FAIL（設備錯誤）	1分	無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下因設備異常接點閉合（接點動作可變更）
	ALM（濃度報警）	2 分（高 / 升）	非電壓觸點，觸點容量30VDC / AC或更少，0.5A或更低時產生警報（接觸操作可改變）觸點閉合
	RDY（預熱信號）	1分	無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下無電壓接點的最小開關容量為12V以上，無法處理微小負載。
	MRK（范圍標記）輸出	2分	無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
熱身時間			5分鐘內
尺寸	身體		210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm（不包括突出部分）
大量的			約6kg
氣體連接口	進口		RC1 / 4
	旁路輸出		RC1 / 4
	出口		RC1 / 4
使用的電源			100-240VAC, 50VA (穩定: 35VA) 50Hz / 60Hz

LC-450D 設備規格

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			數字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
重復性			± 1% FS 0-1ppm內，atm范圍超出保證濃度范圍
抽樣方法			內置泵連續吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30KPa以下
	流量		1,000-2,000 毫升/分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不得含有腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			大氣層
錄音機輸出	氧氣濃度輸出		0-10VDC，絕緣，負載電阻600kΩ或多個（可選：4-20mA的DC，絕緣，負載電阻550Ω或更?。?/span> 記錄器輸出范圍是滿量程和線性輸出到氧濃度
錄音機輸出	輸出范圍		0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出	FAIL（設備錯誤）	1分	無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下因設備異常接點閉合（接點動作可變更）
	ALM（濃度報警）	2 分 (L / LL)	非電壓觸點，觸點容量30VDC / AC或更少，0.5A或更低時產生警報（接觸操作可改變）觸點閉合
	RDY（預熱信號）	1分	無電壓接點，接點容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下預熱運行時接點閉合（接點動作可變更）無電壓接點的最小開關容量為12V或20mA以上，無法處理微小負載。
	MRK（范圍標記）輸出	2分	無電壓接點，接點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
熱身時間			5分鐘內
尺寸	身體		240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm（不包括突出部分）
大量的			約5公斤
氣體連接口	進口		RC1 / 8
	旁路輸出		RC1 / 8
	出口		RC1 / 8
使用的電源			24VDC ± 10%, 1.25A (30VA, 穩態)

氧氣計LC-860

低濃度測量可測量從
ppb級到100%
操作簡單
按鍵操作簡單
吹掃功能
比較氣體更穩定，測量精度更高（僅限帶吹掃功能的規格）。
高可靠性傳感器傳感器
內部也可進行劣化防止處理（可選）

LC-860 設備規格

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			數字6位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動/固定量程
重復性			氧濃度在±1%FS以內，小于1ppm和0-1ppm，atm范圍在保證濃度范圍之外
抽樣方法			內置泵連續吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30KPa以下
	流量		~ 1,500 毫升/分鐘
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不得含有腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			大氣層
錄音機輸出	氧氣濃度輸出		4-20mA / 0-10V 4-20mA : 絕緣，負載電阻 600Ω 或更小 0-10V: 絕緣，負載電阻 500Ω 或更大記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧濃度
錄音機輸出	輸出范圍		0-100%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0　或自動/固定量程的任意4個量程
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出	FAIL（設備錯誤）	1分	無電壓接點，接點容量24VDC/AC以下，0.1A以下因設備異常接點閉合（接點動作可變更）
	ALM（濃度報警）	2分	無電壓接點，接點容量 24VDC/AC 以下，0.1A 以下接點在發生警報時閉合（接點動作可變更）
	RDY（預熱信號）	1分	無電壓接點，接點容量 24VDC/AC 以下，0.5A 以下預熱動作時接點閉合（接點動作可變更）無電壓觸點的最小開關容量為12V以上，無法處理微小負載。
	MRK（范圍標記）輸出	3分	無電壓接點，接點容量24VDC/AC以下，0.1A以下
熱身時間			20分鐘內
尺寸	身體		288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm（不包括突出部分）
大量的			約10公斤
氣體連接口	進口		RC1 / 8
	旁路輸出		RC1 / 8
	出口		RC1 / 4
使用的電源			100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz