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技術文章

日本kyowariken共和理研產(chǎn)品介紹

本器は、シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。

＜K-359S1簡易型＞（製造中止）

２ステップ/アナログメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

詳細

＜K-359S1簡易型＞

２ステップ/デジタルメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

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＜K-359SＤ１＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～６インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

詳細

＜K-359SＤ２＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～８インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

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＜K-359SＤ３＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX3000rpm/サンプルサイズ～１２インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー/排気口

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本器は、シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。

＜K-359S1簡易型＞（製造中止）

２ステップ/アナログメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

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＜K-359S1簡易型＞

２ステップ/デジタルメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

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＜K-359SＤ１＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～６インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

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＜K-359SＤ２＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～８インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

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＜K-359SＤ３＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX3000rpm/サンプルサイズ～１２インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー/排気口

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本裝置は研究開発を目的としたネガマスク露光の際、サンプルとのアライメントを正確かつ容易に行え、超高圧水銀燈を用いた小型軽量な紫外線照射裝置との組み合わせで効率よく露光することが可能なマニュアルUV露光裝置です。

	＜K-307PS95簡易型＞卓上型?低価格?教育実習向きコリメータータイプ詳細
	＜K-309PW95＞卓上型?高精度アライメントマニピュレーターコリメータータイプ詳細
	＜K-311PS100＞卓上型?高性能インテグレータータイプ詳細
	＜K-310P100S/165S＞卓上型?高精度アライメントマニピュレーター高性能インテグレータータイプ詳細
	＜K-400PS95＞両面露光?専用架臺付コリメータータイプ詳細

本裝置は直流四探針法に基づいて開発された測定裝置です。測定架臺及び、四探針プローブを取り揃えております。

＜K-705R簡易型＞

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＜K-705RS＞

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＜ウェハーライフタイム測定裝置＞　Ｋ－７２０LH2

本裝置は共振回路を用いた新しいタイプのライフタイム測定器です。
シリコンウェハーのライフタイム測定器を非接觸で容易に行うことが可能です。ご使用目的に応じたオシロスコープを選定することにより有効にその実力を発揮します。

本裝置は直流四探針法に基づいて開発された測定裝置です。測定架臺及び、四探針プローブを取り揃えております。

＜K-705R簡易型＞

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＜K-705RS＞

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產(chǎn)品目錄

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